سیستم های (نانو و میکرو الکترومکانیکال MEMS) و فناوری نانو _ میکرو ماشین کردن ( Micromachining ) سطح و تنه(BULK) ، به علاوه فناوی های نسبت صورت بالا ( LIGA-like و LIGA ) یا (high – aspect ratio) توسعه یافته ترین روشهای ساخت هستند.

در ساختمان داخلی سیستم های (نانو و میکرو الکترومکانیکال MEMS) سیلیسیم ماده زیر لایه اولیه است که در صنعت نانو _ میکرو الکترونیک به کار می رود. یک عدد قالب بلور ( استوانه جامد 300nm قطر و 100nmطول نانو متر ) از سیلیکون با درصد خلوص خیلی بالا متبلور شده و در ضخامت مطلوب بریده می شود و سپس به وسیله فناوری های جلا دادن مکانیکی و شیمیایی ، صیقلی می شود. خواص قرص های الکترومغناطیسی و مکانیکی به جهت و محل متبلور شدن بلور و ناخالصی های پیش بینی شده آن است.سیستم های (نانو و میکرو الکترومکانیکال MEMS) و فناوری نانو _ میکرو یک فرآیند تکنولوژی بر پایه نانو الکترونیک است که برای بوجود آوردن سیستمها و وسایل یکپارچه (مجتمع) خیلی کوچک بکارمی رود که از عناصر الکتریکی و مکانیکی ترکیب می شوند. آنها با استفاده از تکنیک های عملیات تک مرحله ای و در سایز های بین کمتر از میکرومتر تا میلی متر طبقه بندی می شوند . این وسایل یا سیستمها قابلیت Sense و کنترل و actuate کردن را تا مقیاس میکرو دارند و حتی روی مقیاسهای macro (خیلی بزرگ) نیز کاربرد دارند.واقعیت MEMS و فناوری نانو _ میکرو برای طراحی و مهندسی و ساختن و اداره کار های تخصصی از یک محدوده متنوع و گسترده ای از قسمتهایی که شامل IC می باشد مورد استفاده قرار می گیرد. ساختن تولیدات مصرفی و صنعتی دارد (با ترکیب کردن تکنولوژی میکرو مکانیک و میکرو الکترونیک سلیکونی) تکنیک های بکار رفته بطور شگفت انگیزی بر روی زندگی ما تاثیر دارد .اگر fabrication micro کردن نیمه هادیها نیز میباشد.MEMS و فناوری نانو _ میکرو یک تکنولوژی ساختاری است ، نمونه ای برای طراحی و بوجود آوردن سیستمها و ادوات مکانیکی پیچیده به خوبی الکترونیک یکپارچه شان که از تکنیکهای ساخت تک مرحله ای استفاده میکنند. تکنیکهای ساخت MEMS قادر می سازد که اجزا و وسایل با کارایی و قابلیت افزایش یافته تولید شوند، توام با مزیتهای معمولی مثل کاهش اندازه فیزیکی ، حجم ، وزن وهزینه وفراهم کردن پایه ای برای ساخت تولیدات غیر قابل ساخت با روشهای دیگر میباشد واقعیت نظم داخلی تکنولوژی MEMS و تکنیکهای میکرو ماشین کردن آن به خوبی تنوع کاربرد های آن منجر به محدوده بی سابقه ادوات MEMS در مقابل زمینه های نابسته قبلی میشود (برای مثال بیولوژی و میکرو الکترونیک ها) این عاملها MEMS را به مراتب فراگیرتر از تکنولوژی میکرو چیپ های IC میسازد.